■ X線マスクの作製

電子ビームまたはレーザーリソグラフィによる高精度のX線マスクを作製します。

■ レジストのX線リソグラフィ (Lithographie)

基板上のレジストにX線マスクの構造を転写します。
放射光施設ANKAの高品質なX線によって，高アスペクト比，滑らかな側壁，自由な横方向形状を持つレジスト構造が実現します。

■ 電鋳 (Galvanoformung)

X線リソグラフィによって形成された微細構造を持つレジストに，電鋳を施します。これにより，高アスペクト比の金属構造体が実現できます。

■ ポリマーの成型 (Abformung)

電鋳で作製した金型を用い，ホットエンボスや射出成型によって，ポリマー製の微細構造を複製します。

■ X線回折格子

タルボ干渉計，タルボ･ロー干渉計用の回折格子。高アスペクト比の吸収格子，短周期の位相格子，吸収格子を実現。
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■ X線レンズ

SPring-8を始めとした放射光施設で多くの使用実績がある，単色X線を集光する屈折式のレンズ。
サイト内リンク: X線レンズ

■ 微細貫通孔(X線アパーチャ)

(a) マルチホール例 / X線マルチコリメータ
厚さ80 µmの金のメンブレン上に直径3，4，5 µmの高アスペクト円形貫通孔を規則的に多数配列。X線マルチコリメータとして使用実績あり。

(b) シングルホール例 / X線アパーチャ
厚さ200 µmの金のメンブレンの中心に，直径5 µmの高アスペクト円形貫通孔を一つ形成。放射光施設のX線アパーチャとして使用実績あり。

■ X線センタービームストップ

材質: Au
中心の直径: 30〜160 µm
高さ: 80 µm
支柱構造幅: 2.5 µm (中心付近)〜10 µm (外縁付近)

■ X線テストパターン

厚さ30 µmの金のメンブレンに5 µm ～ 1,000 µmの貫通孔
放射光ビームのナイフエッジ測定用。