新情報
■ X線レンズ Publications (ユーザによる発表事例)を追加，2020年7月
■ LIGAプロセス Publications (ユーザによる発表事例)を追加，2020年6月
■ X線回折格子(タルボ干渉計) Publications (ユーザによる発表事例)を追加，2020年6月
■ X線光学製品ポスター (SRI掲示，2018年6月)
展示会情報
[出展] 2020年1月10-12日: 日本放射光学会年会，ウインクあいち(愛知県産業労働センター)
[出展] 2019年10月20-24日:XNPIG，International Conference on X-ray and Neutron Phase Imaging with Gratings，
仙台国際センター
[出展] 2019年9月17-20日: NSRRC Users' Meeting and Workshop，NSRRC，新竹，台湾
[出展] 2019年1月10，11日: 日本放射光学会年会，福岡国際会議場
LIGA微細加工技術 (LIGAプロセス)とは
1. LIGAプロセスの流れ
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■ X線マスクの作製 電子ビームまたはレーザーリソグラフィによる高精度のX線マスクを作製します。 |
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■ レジストのX線リソグラフィ (Lithographie)
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■ 電鋳 (Galvanoformung)
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■ ポリマーの成型 (Abformung)
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2. LIGAアプリケーション例
LIGAプロセスにて作製された微細構造は，X線光学を中心に，研究機関，産業界ともに様々な分野にて使用されています。
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■ X線回折格子 (X-ray gratings for Talbot interferometry)
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■ X線レンズ (Compound refractive lens, CRL)
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■ 微細貫通孔 (X線アパーチャ) |
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■ マイクロギア1 |
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■ マイクロギア2 ハーモニックドライブ歯車･高速度伝達比 ･バックラッシュ無し 用途: 高精度マイクロマニピュレータ向け |
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■ Ni電鋳と微細貫通孔
用途: ハイパースペクトルカメラ向けのNiアパーチャ |
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■ X線テストストラクチャ
形状: 厚さ30 µmの金のメンブレンに5 µm ～ 1,000 µmの貫通孔 |
3. 製造者
■ 放射光施設ANKA LIGA I，II，III･･･X線リソグラフィ用途 PDIFF･･･XRPD用途 TOPO･･･放射光白色X線トポグラフィ 他，計15のビームラインが稼働中 |
■ ホットエンボス装置 構造高: 1 µm〜2,000 µm 基板サイズ: 〜8インチ アスペクト比: 〜20 |
4. Publications: カールスルーエで製造されたLIGA微細加工製品を用いた研究開発事例 (抜粋)
(a) X線アパーチャ(マルチコリメータ)，microworks GmbH▶｢宇宙X線観測用SOIピクセル検出器内部における電荷雲形状の測定｣，児嶌優一，平賀純子，鶴剛 20p-B301-3, The 65th JSAP Spring Meeting, 2018 (応用物理学会，2018年春)
▶Subpixel response of SOI pixel sensor for X-ray astronomy with pinned depleted diode: first result from mesh experiment. K Kayama et al., The 9th International Workshop on Semiconductor Pixel Detectors for Particles and Imaging (PIXEL 2018)
▶｢メッシュ実験による次世代X線天文用SOIピクセル検出器のサブピクセル性能の研究｣，佳山一帆 京都大学大学院 修士論文 2020年3月
(b) X線回折格子(タルボ干渉計，タルボ･ロー干渉計)，microworks GmbH / カールスルーエ技術研究所･IMT
▶X-ray dark-field imaging of the human lung - A feasibility study on a deceased body. K Willer et al., PLoS One. 2018; 13(9): e0204565
[大型動物の自然気胸の暗視野像]
▶Depiction of pneumothoraces in a large animal model using x-ray dark-field radiography. K Hellbach, A Baehr, F De Marco et al., Sci Rep 8, 2602 (2018)
[ヒトサイズ試料の低線量撮像]
▶A preclinical Talbot-Lau prototype for x‐ray dark‐field imaging of human‐sized objects. C Hauke et al., Med. Phys. 45 (6), June 2018
[非破壊検査向けの位相イメージングスキャナ]
▶Laboratory-based X-ray phase-imaging scanner using Talbot-Lau interferometer for non-destructive testing. Shivaji Bachche et al., Scientific Reports volume 7, Article number: 6711 (2017)
[産業界向けアプリケーション]
▶System design and evaluation of a compact and high energy X-ray Talbot-Lau grating interferometer for industrial applications. Lee, S., Oh, O., Kim, Y. et al., J. Korean Phys. Soc. 73, 1827-1833 (2018)
[炭素繊維強化プラスチックのµCT撮像]
▶Multi-modal Talbot-Lau grating interferometer XCT data for the characterization of carbon fibre reinforced polymers with metal components. C Gusenbauer et al., Conference on Industrial Computed Tomography (iCT) 2017
[X線天文学]
▶Sub-arcsecond imaging with multi-image X-ray interferometer module (MIXIM) for very small satellite. Kiyoshi Hayashida et al., Proc. of SPIE Vol. 10699 106990U-1
▶｢サブ秒角撮像を目指すX線多重像干渉計MIXIMの基礎開発｣，川端智樹, 大阪大学大学院 修士論文，2018年2月
▶Sub-arcsecond to micro-arcsecond resolution X-ray imaging of SMBH with a novel method MIXIM, Kiyoshi Hayashida et al., AGN Jet Workshop, 2020
▶[BL09XU] X-ray pumping of the 229Th nuclear clock isomer. T Masuda et al., Nature volume 573, pages 238–242 (2019)
▶[BL10XU] New developments in high-pressure X-ray diffraction beamline for diamond anvil cell at SPring-8. N Hirao et al., Matter and Radiation at Extremes 5, 018403 (2020)
▶[BL10XU] Equation of State of Liquid Iron under Extreme Conditions. Y Kuwayama et al., Physical Review Letters 124, 165701 (2020)
▶[BL13XU] Ferroelastic domain motion by pulsed electric field in (111)/(111¯) rhombohedral epitaxial Pb(Zr0.65Ti0.35)O3 thin films: Fast switching and relaxation. Y Ehara, et al., Phys. Rev. B, 100, 10416 (2019)
▶[BL13XU and 15XU] Charge screening strategy for domain pattern control in nano-scale ferroelectric systems. T Yamada et al., Sci. Rep. 7, 5236 (2017)
▶[BL15XU] Time-resolved X-ray diffraction system for study of Pb(Zr, Ti)O3 films under a temporal electric field at BL15XU, SPring-8. O Seo et al., Rev. Sci. Instrum. 90, 093001 (2019)
▶[BL22XU] Development of an apparatus for Bragg coherent X-ray diffraction imaging, and its application to the three dimensional imaging of BaTiO3 nano-crystals. K Ohwada et al., Japanese Journal of Applied Physics 58, SLLA05 (2019) 58 SLLA05
▶[BL22XU] Improving Fatigue Performance of Laser-Welded 2024-T3 Aluminum Alloy Using Dry Laser Peening. T Sano et al., Metals, 9, 1192, 2019
▶[BL24XU]「樹脂射出成形品の板厚断面方向の結晶化度分布解析」舟本三恵 他, 兵庫県ビームライン年報・成果集 Vol. 5, 6, pp.33-36, 2017
▶[BL39XU]「Ｘ線屈折レンズとKBミラーによる二段階ナノ集光光学系の開発」鈴木基寛 他, SPring-8/SACLA 利用研究成果集 Vol. 8 No. 1
▶[BL41XU] Low-dose X-ray structure analysis of cytochrome c oxidase utilizing high-energy X-rays. G Ueno et al., J. Synchrotron Rad. (2019). 26, 912-921
▶[BL43LXU] X-ray Phase-Contrast Imaging and Metrology through Unified Modulated Pattern. MC Zdora et al., Phys. Rev. Lett. 118, 203903 (2017)
microworks GmbH
LIGA micro fabrication (English)
POCT (point-of-care testing) / IVD
Fluigent Catalogue (PDF English)
